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影响靶材中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶中毒。     反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露
热学性能: 热学性能主要体现在以下几个方面 (1) 它的形变点为1075℃ (2) 它的软化点为1730℃
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石墨坩埚的使用注意点 、坩埚存放在通风干燥的环境中,以免受潮影响使用。 ;2、坩埚在搬运中要轻拿轻放,严禁摔震,切勿滚动,以免损坏坩埚